合成法を比べる ― 固相法・液相法・気相法(CVD・PVD)

同じ無機材料でも,原料をどう混ぜ,物質がどこを通って動き,どこで反応・堆積するかで,つくり方が大きく変わります. ①固相法では粉にエタノールを加えてすり混ぜ,乾かしてから仮焼し,粒子の接点から生成物の層が育つ様子を見ます. ②液相法(共沈)では溶液の中でイオンが混ざり,過飽和になって沈殿する要点を見て,固相法と仮焼の進み方を比べます. ③④は気相法です.③CVD では原料ガスが基板の表面で化学反応して膜になり,④PVD では蒸発やスパッタリングで飛び出した原子が基板に付着して膜になります. どのタブも,左上の装置図・右上の内部の拡大模式図・下のグラフ・読み取り値が同じ状態から描かれます.

東京理科大学 望月研究室 / 原子・粒子・分子の図は模式で,時間は短縮して表示しています. 数値は文献の式・文献値(出典つき)と,教育用に選んだ仮の値(「(仮)」「模式」と表示)を組み合わせたモデルの計算値です. ①②の手順・試薬の量は旧東京工業大学 材料科学実験(無機材料分野)実験テキスト 2025 年版(§6.1,§8.1,§8.2)と実習の動画(A1〜A3,B1〜B4)によります.仮焼は大気中です(先生の指示(2026-09-25)). 詳しい説明・出典・先生への確認事項は解説ページにあります. 戻る:望月研究室 Education ― 無機材料学 > 仮想実験・無機材料学の教材一覧